Polymers in Microlithography
Materials and Processes
Autor:
Oxford University Press
Verlag:
Oxford University Press
Sprache:
English
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CHF 220.00
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Untertitel
Materials and Processes
ISBN
978-0-841-21701-0
EAN
9780841217010
Erscheinungsjahr
10/22/2002
Verlag
Oxford University Press
Sprache
English
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